低温蒸馏技术是目前国际上广泛应用的主流技术之一，控制废水的最高蒸发温度不高于30℃、废水回收率最高可达95%。
浓缩电镀废液（金、银、铜、镍等）、阳极处理磷酸废液、乳化型切削液废水、污泥浓缩脱水、研磨废液、涂料废液、氟酸处理废水、硫酸铵废液、含硼废液等进行高效浓缩，蒸馏出来的洁净水可重新回到生产线上继续使用或排放。
对于某些含盐工业废水，如电镀行业、医药农药行业、金属加工行业等，蒸留后的浓缩液具有回收价值。
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